光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计

发布时间：2017-10-27 20:28

  本文关键词：光刻物镜偏心调节机构抑制耦合误差设计

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【摘要】：为了找出耦合误差产生的根源,探讨了柔性偏心机构设计方法.首先,给出了机构组成和工作原理;然后,基于柔度矩阵法对机构建模,分别推导了桥式位移放大机构、导向机构、连接机构的柔度;最后,综合得到机构的整体柔度.分析结果表明柔度矩阵法得到的输出柔度理论值和有限元法得到的结果误差为8.126%,机构的一阶固有频率为73.78Hz.在40N的驱动力范围内,机构可以实现66.466μm的行程,透镜和机构上的最大应力分别为0.0711 MPa和235.22 MPa,Y/Z/RX/RY/RZ耦合误差和X向行程的比分别为0.0543%、0.0082%、1.218×10-8rad/μm、1.870×10-7rad/μm、6.073×10-7rad/μm.调节后镜片面形PV值优于24nm,RMS值优于5nm,并且主要为像散.通过合理的柔度设计,机构接近完全解耦,揭示了不合理的机构刚度是产生调节耦合误差的根源.
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心;
【关键词】： 耦合误差 光刻 物镜 偏心调节机构 柔度矩阵法
【基金】：国家科技重大专项基金(No.2009ZX02205)资助~~
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1-10022900引言投影物镜是光刻机中的核心部件之一,随着节点向小于30nm的方向发展,像差对物镜成像质量的影响越来越突出.光学元件的支撑结构应该能够适应外力和温度变化等对光学面形造成的不利影响,如物镜曝光时受到外部环境中温度、气压变化的影响[1]和振动干扰[2]等,光学元

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本文编号：1105089