大口径抛物面镜子孔径拼接测量

发布时间：2017-10-28 19:24

  本文关键词：大口径抛物面镜子孔径拼接测量

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【摘要】：针对大口径抛物面面形检测,提出一种基于无像差点的子孔径拼接测量新方法。首先,分析了该拼接方案特殊的子孔径生成方式及子孔径名义运动路径计算的形式;其次,通过建立统一的像面坐标系和全局坐标系的函数关系,结合坐标转换求解出各个子孔径数据对应的全局坐标;最后,采用目标函数法拼接恢复出全口径面形。对一抛物面镜利用该拼接方案进行了计算机仿真实验,拼接得到RMS值的偏差为0.001 4λ。实验结果表明,该检测方法可以实现大口径抛物面镜的高精度测量。
【作者单位】： 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室;
【关键词】： 大口径抛物面 子孔径拼接 面形检测 目标函数法
【基金】：国家自然科学基金(51075322) 陕西省教育厅高精度小平面干涉仪研制基金(12JS048)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 0引言随着科学技术的不断发展,大口径非球面光学元件广泛的应用于天文光学、空间光学、惯性约束核聚变等高技术领域。制造高精度、大口径的非球面需要与之相应的高精度检测设备和方法。子孔径拼接干涉检测方法[1]主要是通过使用标准的小口径干涉仪对大口径光学元件表面进行多

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本文编号：1109632