氙气质量流量校准装置

发布时间：2017-10-29 17:14

  本文关键词：氙气质量流量校准装置

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【摘要】：为了开展多工况条件下的氙气质量流量精确校准,研制了氙气质量流量校准装置。本文介绍了校准装置的组成、校准原理,测试了极限真空度、漏放气率,进行了真空容器容积在线测量、校准过程中氙气温度变化及物态变化等研究,对校准结果进行了验证。该装置校准范围为(3×10~(-1)~2.6×10~3)m L/min(标准状态),相对合成标准不确定度为1.6%。
【作者单位】： 无锡鸿瑞航天科技有限公司;
【关键词】： 计量 质量流量 校准装置 氙气
【分类号】：TH814.6
【正文快照】： 热式气体质量流量计在航空、航天、能源、医学等行业广泛应用。在对测量准确度要求较高的尖端技术领域,当实际被测气体与出厂校准气体不同时,必须采用实际被测气体来校准质量流量[1]。在某产品的研制过程中,氙气质量流量的测量直接关系到了产品的质量和寿命,需要精确测量氙气

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本文编号：1113906