曲率半径干涉测量定焦误差分析

发布时间：2017-10-29 23:20

  本文关键词：曲率半径干涉测量定焦误差分析

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【摘要】：为了提高曲率半径定焦准确度,从移相干涉仪,标准镜头透射波前误差,被测光学元件表面面形误差及调整误差等方面出发,分析影响干涉仪定焦准确度的各因素,并给出各误差补偿表达式.通过对比实验发现,在猫眼及共焦位置处调整误差补偿后,离焦量及曲率半径测量结果的变化趋势由近似线性变为随机变化,同时由离焦量引入的曲率半径变化量由7.05μm减小为0.5μm.在曲率半径干涉测量中,调整误差为影响定焦准确度的主要误差源,调节调整误差可有效控制离焦量的变化,提高曲率半径测量准确度.
【作者单位】： 中国科学院光电技术研究所;中国科学院大学;
【关键词】： 测量 干涉测量 光学球面 曲率半径 定焦 离焦量 误差分析
【基金】：国家科技重大专项(No.XXXXXXXX)资助
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 0引言曲率半径为光学元件的一个重要参量,其测量准确度直接影响光学系统的成像质量,曲率半径的高准确度测量在光学精密测量领域具有重要意义[1-2].曲率半径检测方法有多种,传统方法包括球径仪法及样板法,其测试方便,适合于现场检验,但测量准确度不高且均为接触式测量,易造成被

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本文编号：1115100