基于Levenberg-Marquardt算法的大型非球面镜轮廓数据处理方法

发布时间：2017-10-30 03:04

  本文关键词：基于Levenberg-Marquardt算法的大型非球面镜轮廓数据处理方法

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【摘要】：大型非球面镜通过加工-检测-再加工-再检测的制造工艺以满足面形精度要求,根据检测后的轮廓数据准确评定面形是提高再加工精度的关键。为解决抛光前镜面的面形评定问题,采用基于信赖域法则的Levenberg-Marquardt算法对参数进行拟合、误差补偿以及面形评定。利用Code V仿真分析算法性能,构建大型非球面轮廓仪测试抛物面加工件,对实测数据经过32次迭代得到元件参数及轮廓残差曲线,收敛精度为1.16×10-21。实验表明:该算法可对大型非球面镜轮廓数据进行高效准确的拟合、评定,为进一步提高再加工精度提供可靠依据。
【作者单位】： 北京理工大学光电学院精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室;
【关键词】： 大型非球面镜 Levenberg-Marquardt 误差补偿 非线性拟合 轮廓数据评定
【基金】：民用航天“十二五”预研项目资助课题
【分类号】：TH74
【正文快照】： 引言非球面光学元件具有扩大视场、矫正像差、改善像质以及有效简化光学系统等特点[1],在天文、航空、航天、国防等重要领域起着重要作用。随着光学精密加工检测技术的发展,大口径高精度非球面镜的加工、制造、检测成为可能,为其在天文光学、深空探测、军事侦察、惯性约束核聚

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本文编号：1115816