频率扫描干涉仪漂移误差正反向扫描补偿法

发布时间：2017-10-30 20:44

  本文关键词：频率扫描干涉仪漂移误差正反向扫描补偿法

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【摘要】：频率扫描干涉仪对测量过程中光程差的漂移非常敏感,目标镜的微小位移会被放大几千倍,使得测量结果严重失真,因此必须消除或减弱漂移误差。针对现场测量中目标镜的低频振动或缓慢漂移,根据光频连续正反向扫描测量值漂移误差放大项大小近似相等、符号相反的特性,提出了一种光频连续正反向快速扫描的漂移误差补偿方法,并进行了频率扫描干涉仪漂移误差补偿实验,分析对比补偿前后的实验结果,验证了该方法的可行性。实验结果表明,在测量距离约1543.3mm处,目标镜振动频率为4.7Hz,振幅为1μm,采用补偿后,连续40次采样测量的标准差由补偿前的51.9μm下降到8μm。
【作者单位】： 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室;
【关键词】： 测量 频率扫描干涉仪 漂移误差
【基金】：国家自然科学基金(50975225、50935006) 制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题(10zxzk05)
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 1引言可调谐半导体激光器的频率扫描干涉测距技术(FSI)精度高、体积小、价格适中,已应用于大型强子对撞器超环面探测器(ATLAS)的装配精度检测[1-4]和多卫星编队飞行时相对距离的测量[5]等领域。而FSI对光频扫描过程中目标镜的振动漂移非常敏感。扫描测量时目标镜的振动漂移产

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本文编号：1119234