闪耀角可调微型可编程光栅的优化设计与仿真模拟

发布时间：2017-11-01 02:21

  本文关键词：闪耀角可调微型可编程光栅的优化设计与仿真模拟

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【摘要】：基于体硅微加工技术,设计了一种闪耀角可调的微型可编程光栅,对该光栅进行优化设计,并理论计算不同闪耀角、入射角条件下相对光强分布,采用COMSOL有限元仿真软件模拟不同入射参量下远场相对光强分布.结果表明:设计的可编程光栅有效反射面积占光栅总面积的83.63%,比表面微加工技术设计的光栅提高8%以上,最大工作闪耀角为6.84°;当532nm波长垂直入射时,0~10°闪耀角调制范围内最大衍射效率为96.67%.
【作者单位】： 西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室;西北工业大学陕西省微纳机电系统重点实验室;
【关键词】： 微型可编程光栅 闪耀角可调 硅微加工 微机电系统 衍射效率
【基金】：航空科学基金(No.2013ZC53036) 国家自然科学基金(No.51375400) 教育部新世纪优秀人才支持计划 中央高校基本科研业务费重大项目培育基金(No.3102014JC02020504) 全国优秀博士论文作者专项资金(No.201430)资助~~
【分类号】：TH74
【正文快照】： 率达80%等优点,然而该光栅一经制作完成,其光栅0　引言周期、闪耀角等结构参量便无法改变,无法实现实时、光栅作为一种重要的光学元件在测试计量、多光动态测量,因此应用受到了一定限制.近年来,基于微谱成像以及传感等领域有着广泛的应用[1-5].传统的机机电系统(Microelectrom，

本文编号：1124834