双路信号相位同步测量系统设计与实现

发布时间：2017-11-03 01:22

本文关键词：双路信号相位同步测量系统设计与实现

【摘要】：为了实现2维外差干涉位移测量中信号相位的精确同步探测,采用整周期计数与脉冲填充相结合的方法,利用同一时钟基准,对双路信号进行同步检测与并行处理,设计并实现了一种基于现场可编程门阵列的双路外差干涉信号相位同步测量系统。该系统在100k Hz载波频率下测量分辨率可以达到0.18°,双路信号下的相位同步测量误差同样为0.18°。结果表明,该系统实现了整小数相位的精确测量,确保了双路信号相位的实时同步探测,能够满足各种2维外差干涉位移测量系统对相位同步测量的需求。
【作者单位】：国防科学技术大学机电工程与自动化学院仪器科学与技术系;
【关键词】： 测量与计量 相位测量 双路同步 脉冲填充 外差干涉
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51275523)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 引言干涉信号相位检测作为影响光学位移测量系统整体性能的关键因素,在光电探测领域占有举足轻重的地位。为了进一步提高干涉信号相位检测的分辨率和重复性,不同形式的载波信号被引入到光学位移测量系统中,如双频激光干涉仪[1]、外差光栅编码器[2]、多波长合成干涉仪[3]、飞秒

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