一种球面透镜波前畸变的绝对检测方法

发布时间：2017-11-04 07:14

  本文关键词：一种球面透镜波前畸变的绝对检测方法

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【摘要】：球面透镜的透射波前畸变是影响激光驱动器光束质量的重要参数。采用移相干涉仪检测球面透镜波前畸变时,测量结果的精度受限于标准球面镜头和后置平面反射镜的精度。然而,现有的绝对检测技术仅适用于反射元件。为了满足球面透镜波前畸变的高精度检测需求,提出了一种适用于球面透镜透射波前的绝对检测方法:三位置-平移相减法。详细介绍了三位置-平移相减法的原理,对其进行了模拟仿真和实验验证。仿真结果显示:三位置-平移相减法的仿真误差为10nm~13nm,达到高精度测量的理论要求;实验结果表明:三位置-平移相减法可以有效地减小前标准球面镜头和后置平面反射镜对测量结果的影响,该方法对球面透镜的加工和装调具有很好的指导意义。
【作者单位】： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心;
【基金】：中国工程物理研究院发展基金(2014B0401080)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 引言球面透镜是惯性约束聚变激光驱动系统中的一类重要光学元件,它广泛应用于激光驱动器各个部分,起到光路准直、空间滤波、成像等作用。它的透射波前会直接影响输出波前的波前分布,从而影响远场光束质量。因此,必须严格控制球面透镜的透射波前精度。采用斐索型移相干涉仪是一

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1 沈阳;球面透镜曲率半径的线性测量机构[J];光学仪器;2004年05期

2 杨力;;球面透镜铣磨[J];光学工程;1978年03期

3 包振远;;球面透镜的加工[J];仪器制造;1978年04期

4 周传金;;球面透镜工艺工装的计算机辅助设计[J];光学仪器;1988年06期

5 金文`，

本文编号：1138367