高真空蒸发系统检漏技术浅析

发布时间：2017-11-04 22:38

  本文关键词：高真空蒸发系统检漏技术浅析

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【摘要】：介绍了几种常见的真空系统检漏方法,着重探讨了氦质谱检漏仪的原理和结构,分析了检漏仪的检漏过程,能够帮助工程人员快速有效地寻找到漏点,并给出了常见漏点的解决办法。为真空蒸发系统设备的检漏提供了有意义的借鉴,为设备维护人员提供了参考和帮助。
【作者单位】： 天津恒电空间电源有限公司;
【分类号】：TH843
【正文快照】： 随着科技的发展,真空技术应用的领域越来越广。半导体、电子、医疗、食品等行业都离不开真空技术,其中尤以高真空蒸发设备的应用最为广泛。高真空蒸发设备在使用过程中比较常见的问题是真空漏率随着使用时间延长而逐渐升高,这其中有一些是人为非常规操作导致的,但更多的是设备

【共引文献】

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1 汪中汉;回旋加速器CYCHU-10真空及其控制系统研究[D];华中科技大学;2013年

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本文编号：1141466