用改进的快速傅里叶变换法评估一维标准样板线节距数据

发布时间：2017-11-05 11:10

  本文关键词：用改进的快速傅里叶变换法评估一维标准样板线节距数据

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【摘要】：由于利用快速傅里叶变换(FFT)法定量测量标准样板的平均节距时会因为频谱分辨率Δf有限而在数据分析过程中丢失信息,故本文对常用的FFT法进行了改进。首先在FFT的频谱中得到最大振幅值对应的频率分量fmax,使用二分法缩小fmax附近的频率范围;然后利用连续傅里叶变换法寻找更大的振幅值与更精确的f′max以求得更接近真实值的线节距。为了验证该方法的可行性,利用Matlab软件仿真被测标准样板(TGD1)的轮廓图,比较了FFT与改进后的FFT对不同扫描长度下数据的评估结果,并展示了改进FFT法评估时部分数据的运算过程。同时,通过计量型原子力显微镜实测20μm×2μm内的TGD1形貌。两种评估法下的数据比对结果显示:改进FFT评估后的线节距为(277.84±0.39)nm,符合标称值(278±1)nm,验证了改进后FFT方法对线节距求解的准确性与合理性。
【作者单位】： 同济大学物理科学与工程学院;上海市计量测试技术研究院;
【基金】：上海市科委纳米专项基金资助项目(No.11nm0506800)
【分类号】：TH742;TP274.2
【正文快照】： 2.上海市计量测试技术研究院,上海201203)1引言近几年,随着微纳技术的迅速发展,人们对精密测量仪器提出了更高的要求,通过测量微纳标准样板进行校准也具有更加重大的意义[1-3]。例如:一维或二维的横向标准样板可用于校准各种显微镜下观察到的图像放大或畸变情况;作为纵向标准

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本文编号：1143922