激光外差干涉仪设计与实验研究

发布时间：2017-11-06 22:25

  本文关键词：激光外差干涉仪设计与实验研究

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【摘要】：将现代光学实验引入本科物理实验课程中有助于学生了解光学及科技应用的最新发展状况。外差干涉方法是精密测量微小位移的重要方法之一。以常用的光学实验仪器、光学元件和调整架等设备,给出了一种空间式的激光外差干涉实验设计方案,并自主搭建实验装置,用于大学物理实验的教学与研究。
【作者单位】： 华中科技大学物理学院物理实验中心;
【分类号】：TH741.4
【正文快照】： 精密测量主要用于机械制造、材料和器件的结构与性能测试、空间测距等方面[1]。运用光学方法实现精密测量是其中重要的方法之一,常见的有迈克耳孙干涉仪、法-珀干涉仪及激光外差干涉仪。前两种干涉法均采用正向入射方式,测量精度约为100nm[2]。目前,高精度的激光干涉仪大多为

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本文编号：1149650