基于偏振态空间调制的紧凑型偏振光谱仪

发布时间：2017-11-07 02:19

  本文关键词：基于偏振态空间调制的紧凑型偏振光谱仪

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【摘要】：提出并实现了一种紧凑型偏振光谱仪,该仪器采用光谱仪阵列,使测量光谱范围覆盖可见光波段;采用部分平行光路设计,简化了测量配置和系统校准方法;运用入射面旋转效应,实现了偏振态的空间并行调制,减少了测量时间.对多组样品测量的结果证明了该紧凑型偏振光谱仪测量的准确性.由于测量速度快、结构简单且易于在线集成,该紧凑型偏振光谱仪作为一种实时在线测量工具极具潜力.
【作者单位】： 华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室;武汉颐光科技有限公司;
【基金】：基于散射场层析广义椭偏仪的三维纳米结构测量理论与方法(51475191) 基于MOEMS技术的微型光谱椭偏仪研制(2014BEC052) 基于穆勒矩阵椭偏实时测量的可控纳米褶皱制备机理研究(2015CFB278) 纳米光学测量技术与仪器创新群体(2015CFA005)~~
【分类号】：TH744.1
【正文快照】： PACS:07.60.Rd引言偏振光学仪器是一种利用偏振光与偏振器件的作用,实现样品物理量或者光束偏振态测量的非接触式精密仪器,其主要包括光谱椭偏仪、偏振光谱仪和偏振仪等.其中光谱椭偏仪和偏振光谱仪利用已知偏振态的椭圆偏振光与待测样品作用,检测样品反射或者透射前后的偏振

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