胶层厚度对三点支撑反射镜面形的影响

发布时间：2017-11-07 09:05

  本文关键词：胶层厚度对三点支撑反射镜面形的影响

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【摘要】：以45nm浸没式光刻物镜中采用的三点支撑反射镜为研究对象,建立了胶层连接的三点边缘支撑结构模型,用以确定胶层厚度对三点支撑反射镜面形变化的影响。分析了重力作用下三点支撑反射镜的面形变化情况,通过解析表达式描述了胶层厚度对反射镜受力变形的影响。建立了"支撑块-胶层-反射镜"的有限元计算模型,针对不同胶层厚度对反射镜的面形变化进行了仿真分析。仿真结果表明:随着胶层厚度的增大,反射镜的面形变化(均方根值RMS)呈现先减小后增大的趋势;当胶层厚度为280μm时,反射镜面形变化的RMS值最小,约为1.25nm。最后,通过实验测量了柔性双脚架三点边缘支撑导致的反射镜面形变化。结果显示:当胶层厚度为200,280,400μm时,反射镜面形的变化结果均与仿真结果一致,验证了本文仿真结果的正确性。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;
【基金】：国家科技重大专项资助项目(No.2012ZX02701001-007)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1序言结构黏合剂是光机仪器中最广泛使用的黏合剂之一,主要用于固定机械零件或光学零件。在光机结构装配中,黏合剂可以替代螺栓、铆钉、压板等机械零件来实现紧固作用。与传统的机械紧固方式相比,黏结剂紧固方式具有结构简单、重量轻、装配应力分布均匀、柔性高等特点。随着现

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本文编号：1151729