气动驱动变厚变曲率反射镜技术

发布时间：2017-11-07 16:33

  本文关键词：气动驱动变厚变曲率反射镜技术

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【摘要】：以环形线负载驱动模型为基础,分析了环形线负载驱动变曲率反射镜难以兼顾大中心形变与高精度面形保持的原因;从薄板弹性理论出发,得到了一种气动驱动变厚变曲率反射镜物理模型.理论分析表明,将反射镜的厚度分布从等厚改为变厚,并采用气压均匀驱动替代推力环环形驱动,反射镜不仅能产生大的中心形变,而且在形变过程中的面形精度也远高于环形线负载驱动变曲率反射镜的.基于超硬铝反射镜样片的试验验证了对变厚变曲率反射镜的理论分析;试验中,反射镜初始面形精度接近λ/50(632.8nm),施加0.032 MPa驱动气压产生约22μm中心形变时,反射镜面形精度依然优于λ/20(632.8nm),证明该气动驱动结合变厚设计这一技术具有较大的应用潜力.
【作者单位】： 中国科学院西安光学精密机械研究所空间光学应用研究室;中国科学院大学;
【基金】：国家自然科学基金(Nos.61107008,61105017) 国家高技术研究发展计划 中科院西部青年学者项目(No.XAB2015A09)资助~~
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1-10022110引言常规光学元件受镜面材料特性和制造工艺的限制,只能提供固定的光焦度,所以根据几何光学原理[1]、传统变焦技术(包括光学补偿式变焦与机械补偿式变焦)只能依靠光学元件或组件之间的相对运动实现变焦,对运动部件的依赖限制了变焦技术在特定场合的应用.近年来,随着，

本文编号：1153228