一种3自由度精密微定位平台的设计与分析

发布时间：2017-11-08 09:13

  本文关键词：一种3自由度精密微定位平台的设计与分析

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【摘要】：高精度的微定位平台是精密定位技术研究的重要内容之一。采用柔顺机构作为微定位机构及压电陶瓷作为驱动器,设计了一种3自由度精密微定位平台。首先,对设计的微定位平台进行了理论分析,得出了该平台的理论输入与输出关系,同时确定了其行程范围。然后,采用ANSYS有限元方法对该平台在给定输入情况下的变形进行了分析,并对其输出位移进行了仿真。分析结果表明,设计的3自由度微定位平台理论分析结果和仿真分析结果基本吻合。最后,根据分析结果,制作了微定位平台样机。这种高精度的微定位平台在精密定位领域有着广泛的应用前景。
【作者单位】： 佛山科学技术学院机械与电气工程学院;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(51105077) 广东省教育厅科技创新项目(2012KJCX0103)
【分类号】：TH703
【正文快照】： 近年来,随着微/纳制造技术的迅速发展和广泛应用,越来越多的学者对微/纳制造装备核心关键技术之一的精密定位技术进行了大量研究。微定位平台是实现精密定位的工作平台,一般由微定位机构、驱动器和为控制系统提供位置反馈的位移传感器组成。柔顺机构是以柔性铰链代替传统机构

【参考文献】

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本文编号：1156512