基于微梁的面内高g值加速度计设计

发布时间：2017-11-09 05:16

  本文关键词：基于微梁的面内高g值加速度计设计

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【摘要】：提出了一种基于微梁的面内高g值加速度计的设计方案。根据材料力学中悬臂梁的相关理论,建立了微梁检测结构的等效模型,推导出了微梁应力和中间主梁应力的比值的表达式。通过改变结构的尺寸来调节比值,可以设计出更高量程和更高灵敏度的压阻式传感器。利用ANSYS软件对微梁和中间主梁的最大应力及电阻区应力进行了仿真分析,验证了设计方案的可行性。完成了一种量程可达15万gn的面内双轴高g值传感器的设计。
【作者单位】： 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;中北大学电子测试技术国防科技重点实验室;中北大学仪器与电子学院;
【基金】：“十二五”总装备部预研项目
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 近二三十年来,压阻式传感器在国内外有很大的发展,被广泛的应用在军事工程、宇航工程、石化工业等领域的静态与动态的测试系统中[1-3]。随着三轴传感器在军事上各种弹丸侵彻硬目标以及大当量冲击波场爆炸威力过程中的应用越来越受到全世界范围内的重视,它对于战略武器的发展具

【参考文献】

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本文编号：1160461