一种低噪声MEMS加速度计设计与制作

发布时间：2017-11-09 06:28

  本文关键词：一种低噪声MEMS加速度计设计与制作

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【摘要】：为了提高微加速度计的噪声性能,研究了一种基于绝缘体上硅(SOI)技术的单轴MEMS加速度计的设计和加工方案。该微加速度计采用大面积质量块的电容式检测结构,通过增加检测质量,在保证灵敏度的前提下,有效地降低了微加速度计的机械布朗噪声,增强了信噪比。另外,该微加速度计采用一种基于Al保护层的MEMS SOI工艺技术制造,有利于提高微加速度计的整体精度水平。测试结果表明:微加速度计的本底噪声为20μgn/√Hz,灵敏度为2.5 V/gn。
【作者单位】： 西北工业大学空天微纳教育部重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61273052)
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 0引言微加速度计是一类重要的MEMS传感器。相比于传统加速度计,其具有体积小、功耗低等优点,广泛应用于汽车安全、消费电子、航空航天惯性导航等领域[1]。随着MEMS技术的发展,出现了多种原理的微加速度计,包括谐振式微加速度计[2]、压阻式微加速度计[3]、热对流式微加速度计[4

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前2条

1 张英;戚红向;李德强;王世会;叶茂;;MEMS航天惯导产品及技术发展简介[J];航天标准化;2010年03期

2 王巍;;惯性技术研究现状及发展趋势[J];自动化学报;2013年06期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前5条

1 李泽民;段凤阳;马佳智;;基于支持向量机的MEMS陀螺仪随机漂移补偿[J];传感技术学报;2012年08期

2 张亚崇;岳亚洲;刘玉双;赵剡;;基于RT-LAB的组合导航仿真平台设计[J];北京航空航天大学学报;2013年11期

3 韩颖;;MEMS航空微时代[J];航空兵器;2013年05期

4 梁海波;司文杰;刘志华;肖昌怡;;基于SOPC的MEMS组合导航仪设计与实现[J];航天控制;2014年02期

5 刘晓光;胡静涛;高雷;李逃昌;白晓平;;基于改进小波阈值的微机械陀螺去噪方法[J];中国惯性技术学报;2014年02期

中国博士学位论文全文数据库 前1条

1 杨澜;基于多源信息融合的车辆航姿估计技术研究[D];长安大学;2013年

中国硕士学位论文全文数据库 前5条

1 朱文俊;考虑漏电场的扭转式微执行器Pull-in机理分析[D];南京邮电大学;2011年

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3 沈浩;无人机MIMU/GPS组合导航系统研究[D];哈尔滨工程大学;2012年

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【二级参考文献】

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2 陈循,温熙森;环境试验技术的现状综述与集成环境应力试验分析系统[J];国防科技大学学报;1998年06期

3 王巍;杨清生;王学锋;;光纤陀螺的空间应用及其关键技术[J];红外与激光工程;2006年05期

4 李闻白;刘明雍;李虎雄;陈学永;;基于单领航者相对位置测量的多AUV协同导航系统定位性能分析[J];自动化学报;2011年06期

5 罗兵;王安成;吴美平;;基于相位控制的硅微机械陀螺驱动控制技术[J];自动化学报;2012年02期

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7 刘虎;房建成;刘刚;;在轨条件下磁悬浮动量轮磁轴承系统稳定性研究[J];宇航学报;2009年02期

8 杨国梁;王玮;徐烨烽;冯培德;;旋转调制式激光捷联惯导安装误差分析与标定[J];仪器仪表学报;2011年02期

9 祝彬;郑娟;;美国惯性导航与制导技术的新发展[J];中国航天;2008年01期

10 万德钧;展望FOG在舰艇导航中的应用[J];中国惯性技术学报;2002年01期

【相似文献】

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1 杜炜强;;M6加速度计的自诊断系统[J];火箭推进;2002年06期

2 徐涛,罗武胜,吕海宝,董文娟;微硅加速度计在定向钻进角度测量中的应用[J];国防科技大学学报;2004年02期

3 熊V，

本文编号：1160698