非球面非零位环形子孔径拼接干涉检测技术

发布时间：2017-11-09 07:31

  本文关键词：非球面非零位环形子孔径拼接干涉检测技术

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【摘要】：提出了一种新型的非零位环形子孔径拼接干涉检测技术(NASSI)用以检测深度非球面面形误差。该方法结合了传统非零位干涉检测法与环形子孔径拼接法,采用部分零位镜替代了标准环形子孔径拼接干涉仪中的透射球面镜,产生非球面波前用以匹配被测面不同子孔径区域。该非球面波前比球面波前更加接近被测面的名义面形,使所需的子孔径数目大大减少。一方面增大了环带宽度和重叠区,提高了拼接精度;另一方面减少了各种误差累积次数。同时,配合基于系统建模的理论波前方法分别校正各个子孔径的回程误差,进一步提高了检测精度。对非球面度为25μm的高次非球面的计算机仿真检测结果表明该方法具有很高的理论精度。针对口径101mm的抛物面进行了实验检测,多次实验结果均与ZygoR○VerifireTMAsphere干涉仪检测结果一致,峰谷(PV)值误差优于λ/20,均方根(RMS)值误差优于λ/100,表明了NASSI方法的高精度与高重复性。
【作者单位】： 浙江大学光电系现代光学仪器国家重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金(11275172) 中央高校基本科研业务费专项资金(2013QNA5006) 现代光学仪器国家重点实验室创新基金(MOI201208)
【分类号】：TH741
【正文快照】： 1引言非球面面形精密检测一直存在技术难点,传统干涉检测受分辨率和口径限制,无法检测大口径深度非球面。20世纪80年代,子孔径拼接干涉检测技术(SSI)[1-2]应运而生,通过将被测面或波前分割为不同的子孔径区域分别检测,克服了传统干涉仪的检测限制。其中,环形子孔径拼接干涉检

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本文编号：1160900