光栅光谱仪光路结构的设计

发布时间：2017-11-09 22:02

  本文关键词：光栅光谱仪光路结构的设计

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【摘要】：为提高光栅光谱仪的波长扫描精度,设计了一套可对光栅转动情况进行实时反馈的系统结构,实现了仪器在高速和高精度扫描上的统一。在对反馈结构进行设计时,应用光栅尺测位移技术对正弦丝杆上的滑块进行位移反馈,由计算机对其进行接收和处理。对比实验显示,仪器本身波长扫描精度为0.7nm,加入反馈电路进行反馈后波长扫描精度可达0.15nm。结果表明,加入对光栅转动情况的反馈结构后,可使光栅光谱仪满足高精度扫描要求。
【作者单位】： 燕山大学河北省测试计量技术及仪器重点实验室;华北理工大学电气工程学院;
【分类号】：TH744.1
【正文快照】： 引言扫描式光栅光谱仪通常采用步进电机加丝杆的正弦扫描结构,通过控制步进电机的驱动电路细分电机的每一相电流,提高波长扫描精度,但步进电机在高细分状态下的运行状态不稳定,导致光栅光谱仪波长扫描精度不高[1-3],仅为0.7nm,为提高对衍射波长的扫描精度,加入一套可对光栅转

【参考文献】

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1 黄晋卿;黄梅珍;王龙;施Z赯，

本文编号：1163744