计算机再现全息与辅助球面混合补偿检测凸非球面方法研究

发布时间：2017-11-15 02:03

  本文关键词：计算机再现全息与辅助球面混合补偿检测凸非球面方法研究

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【摘要】：大口径凸非球面镜在现代光学系统的应用日渐广泛,尤其在离轴三反光学系统中,它往往作为次镜使用。出于力学特性和热学特性考虑,一般采用不透明的Si C材料来制作此类非球面镜面,而且对于离轴系统,次镜的全口径均参与成像。口径大、加工材料不透明且无中心遮拦,使得传统的检测方法已经无法实现对此类非球面的检测。为解决此问题,提出一种计算机再现全息(CGH)与辅助球面镜混合补偿的凸非球面检测方法,构建了基于CGH辅助功能区域的检测对准方案,并以此方法对一口径为φ120 mm的Si C凸非球面反射镜进行了混合补偿检测,其检测结果与子孔径拼接检测结果在均方根(RMS)值为1/50λ精度下一致,验证了该方法的可行性与正确性。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室;中国科学院大学;
【基金】：国家973计划(2011CB013205) 国家自然科学基金重点项目(61036015)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言在离轴三反光学系统中,次镜一般为凸非球面,而对于Rug型离轴三反系统,次镜则为离轴凸非球面。随着空间对地成像分辨率的要求越来越高,光学系统的尺寸也随之越来越大,次镜的口径通常达到φ200~400 mm,在一些光学系统设计中凸非球面尺寸甚至达到φ700 mm以上[1-3]。口径较

【参考文献】

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【共引文献】

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8 王t爐，

本文编号：1187889