三坐标测量曲率半径误差评价的新方法研究

发布时间：2017-11-15 16:19

  本文关键词：三坐标测量曲率半径误差评价的新方法研究

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【摘要】：曲率半径检测是光学加工工艺流程中最基本的检测内容之一,为了克服传统三坐标测量曲率半径的测量策略测量误差无法定量评估的问题,将病态矩阵理论与三坐标检测曲率半径算法相结合,提出了基于IC值的三坐标检测曲率半径测量策略误差评估新方法。首先分析了三坐标测量曲率半径的测量模型以及误差产生原因,然后利用病态矩阵理论评价该测量模型的病态程度,在此基础上提出了一种评价三坐标测量模型病态程度的判据算法,并且进行了相关算法的验证。在仿真及实验均验证其准确性和有效性的基础上,利用该方法对三坐标检测曲率半径的三环法进行测量策略优化。结果表明:常规测量将中环放在上下环中间位置的做法是测量误差最大的一种方法,中环的位置越靠近球冠顶点,其测量结果的精度越高。分析结果对制定光学元件曲率半径测量的测量策略具有一定的指导意义。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室超精密光学工程研究中心;
【基金】：国家科技重大专项(2009ZX02205)项目
【分类号】：TH706
【正文快照】： 1引言光学元件制造过程中,检测水平的精度直接决定其制造水平的高低,尤其是对于高精度光学元件制造,光学检测水平更是对光学元件的加工效率及质量控制起至关重要的作用。光学检测参数中,光学元件的曲率半径检测及评定是最基本也是最重要的检测内容之一。由于光学元件在铣磨阶

【参考文献】

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本文编号：1190434