跨尺度二维工作台系统研制

发布时间：2017-11-16 09:02

  本文关键词：跨尺度二维工作台系统研制

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【摘要】：为实现大行程、纳米分辨力的定位目标,研制了跨尺度二维工作台系统。采用大行程宏动台和六自由度微动台组合的方式,搭建了宏/微双驱动高精度二维工作台系统。该系统利用机器视觉技术,采用图像处理方法确定系统中各个零件的位置和方向,宏动台高速移动实现粗定位,通过微动台与宏动台的循环配合工作,最终实现二维工作台系统的纳米级定位精度。实验结果表明,200mm×200mm二维工作台的定位精度在0.6μm左右,该工作台系统具备了大行程、定位时间快、智能化等优点。
【作者单位】： 合肥工业大学;
【基金】：国家自然科学基金(51175141)
【分类号】：TH703
【正文快照】： 1引言大行程工作台的定位精度一般局限在微米级,而以压电陶瓷微驱动器为代表的微动工作台,其定位精度能够达到纳米级,但行程通常只能达到几十微米。对于微操作任务来说,在关注高精度、纳米级定位的同时,还要兼顾微米级的大范围宏动定位。为解决宏观与微观的矛盾,国内外学者相

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