横向压电效应变形镜优化设计

发布时间：2017-11-16 13:15

  本文关键词：横向压电效应变形镜优化设计

  更多相关文章： 自适应光学 横向压电效应 变形镜 优化设计 仿真

【摘要】：变形镜作为自适应光学系统中的关键部件,起到校正波前误差的作用。其中横向压电效应变形镜应用较为广泛,其设计参数对系统的性能有重要影响,因此需要进行优化设计。仿真表明,减小Si镜和PZT的厚度可以提高系统最大变形量,但会降低一阶固有频率。通过正交匹配两者的厚度参数可满足系统的工作要求。夹具的材料和结构参数会影响系统的热变形特性。使用与镜片材料相同的夹具,系统的热变形最小,对高度和壁厚进行优化可以减小甚至消除系统的热变形。最后,通过电压特性仿真得到了优化后变形镜各分立电极的影响函数。
【作者单位】： 国防科学技术大学机电工程与自动化学院;超精密加工技术湖南省重点实验室;
【基金】：新世纪优秀人才资助计划(NCET-12-0144)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 0引言自适应光学系统广泛应用于检测和校正大气扰动等因素带来的光学成像误差[1]。变形镜(DM)作为一种典型的波前校正器,在自适应光学系统中起到校正波前误差的作用[2]。目前,变形镜按驱动方式可分为以下几类:基于纵向压电效应的传统压电变形镜、基于微机电系统(MEMS)技术构造

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本文编号：1192460