径向剪切干涉波面重构的数值模拟分析

发布时间：2017-11-17 13:14

  本文关键词：径向剪切干涉波面重构的数值模拟分析

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【摘要】：径向剪切干涉仪所采集到的干涉图并不直接反映原始待测波面信息,为了获得原始待测波面信息,波面重构是必要的。推导了波面重构的迭代算法,并用Matlab分别对径向剪切中不同迭代次数、不同剪切比的波面重构迭代算法进行了数值模拟,得出以下结论:合适的剪切比可以简化迭代运算,提高运算速度;与小畸变波面重构相比,残差波面PV值达到相同精度时,大畸变波面重构需要更多的迭代次数。待测波面的PV值大于10λ时,剪切比应在0.7以上,PV值大于6λ小于10λ,剪切比在0.5~0.7之间,PV值小于6λ,剪切比小于0.5。
【作者单位】： 中国科学院西安光学精密机械研究所;
【基金】：激光参数测量技术研究与验证(YLHGC11B0A
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 0引言径向剪切干涉技术由于无需设置参考光,测量口径范围大,对温度升降、空气流动、地面震动等环境影响不敏感,只要改变剪切比,测量精度也随之改变。相比传统干涉仪有其独特优点,所以被广泛应用在光学元件面型检测、脉冲波面的高速测量、光束质量测量等领域。国内外学者很早就

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