MEMS微加速度计在振动环境下的可靠性研究

发布时间：2017-11-17 16:14

  本文关键词：MEMS微加速度计在振动环境下的可靠性研究

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【摘要】：由于微加速度计的可靠性成为其产品商业化过程中的一个重要问题,而冲击断裂是导致其性能失效的主要原因。主要研究了压阻式微加速度计在振动环境下的可靠性问题。设计了微加速度计在振动环境下的可靠性试验并通过ANSYS进行仿真。经过分析得出微加速度计在振动环境下的主要失效模式,并进行了相应的失效机理分析。通过可靠性实验进行了验证,对微加速度计在振动环境下的可靠性进行评估,并描绘了其可靠度与失效概率曲线。
【作者单位】： 中北大学电子测试技术国家重点实验室;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;中北大学计算机与控制工程学院;
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 微机电系统在近十年多来取得了飞速的发展。当前对于MEMS器件的设计和制作的工作已经取得了很多进展,但是就整体而言,MEMS产品的商品化尚未实现[1-2]。各种情况下失效问题是MEMS商品化的一大障碍。微加速度计可靠性问题已经成为阻碍它在武器系统中广泛应用的首要因素。微加速

【参考文献】

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1 刘晓e，

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