梳齿式静电微驱动器稳定性分析与结构优化

发布时间：2017-11-19 01:01

  本文关键词：梳齿式静电微驱动器稳定性分析与结构优化

  更多相关文章： 静电微驱动器 稳定性 弹性支撑机构 梳齿结构 静电力模型

【摘要】：针对典型梳齿式静电微驱动器驱动稳定性差的问题,建立微驱动器驱动稳定性分析模型,系统分析微驱动器驱动稳定性随其各结构参数的变化关系,提出基于稳定性因子的微驱动器驱动稳定性评估方法。提出弹性支撑机构外置方案,建立弹性梁非线性特征模型,基于模型分析结果设计预弯弹性梁结构,建立基于梳齿结构参数的静电力模型,研究不同梳齿结构对驱动器驱动稳定性的影响。研究结果表明,弹性支撑机构外置、预弯弹性梁结构以及线性交叠梳齿结构能够有效提高梳齿微驱动器大位移输出的驱动稳定性。
【作者单位】： 军械工程学院弹药工程系;
【基金】：装备预研基金项目(9140A05050115JB34065)
【分类号】：TH703
【正文快照】： 0引言梳齿式静电微驱动器是应用最为广泛的MEMS驱动器之一。目前,梳齿式静电微驱动器的设计大部分是基于W.C.Tang等人[1]提出的经典结构。基于该结构的梳齿微驱动器的驱动位移受可动梳齿电极侧向不稳定性的严重限制,即侧向吸合现象的限制[2-3]。梳齿微驱动器的侧向不稳定性主

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本文编号：1201740