光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计

发布时间：2017-11-19 02:27

  本文关键词：光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计

  更多相关文章： 光刻投影物镜 X-Y向柔性调节机构 减速机构 柔性铰链

【摘要】：X-Y向柔性调节机构应用于光刻投影物镜中光学元件X-Y方向偏心位置补偿。基于柔性铰链,设计柔性二级减速机构,并将之应用到新型的一体式X-Y向柔性调节机构上。在对机构原理进行分析的基础上,对X-Y向柔性调节机构结构参数进行了优化设计。进一步,运用有限元分析法,分析了该X-Y向柔性调节机构的性能。分析结果表明,该机构调节行程大于±20μm,机构位移输入?输出关系稳定,传动比约11.9,理论调节精度约8.4 nm,机构单方向驱动刚度为0.473μm/N;机构开环单轴运动时,耦合误差与主运动比值为7.1%;机构1阶模态频率大于200 Hz。该X-Y向柔性调节机构能够应用到光刻投影物镜中。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室;
【基金】：国家重大科技专项02专项资助课题(2009ZX02005)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 0引言随着集成电路规模的不断扩大,集成电路线宽越来越小,因此对光刻投影物镜光学精度及机械精度的要求越来越苛刻[1-2]。为了更好地补偿光刻投影物镜的各成像指标[3-4],系统中某些光学元件需要进行X-Y向精密调节。一般要求X-Y向调节量为数十微米,调节精度达到数十纳米级。传

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前9条

1 彭海峰;巩岩;赵磊;;光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析[J];光电工程;2013年02期

2 陈安;林妩媚;江海波;;非理想照明光瞳对光刻成像质量的影响[J];光电工程;2013年02期

3 邓亚飞;周金运;雷亮;冉坐;周亚梅;;新型大面积PCB光刻投影物镜设计[J];光电工程;2013年02期

4 赵磊;巩岩;赵阳;;光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构[J];光学精密工程;2013年06期

5 郭抗;巩岩;;6-PSS型光学元件精密轴向调节机构[J];光学精密工程;2013年10期

6 郭抗;巩岩;;轴向调节机构中调节力对光学元件面形的影响[J];光学学报;2013年11期

7 陈贵敏;李端玲;;平面柔顺机构的自由度[J];机械工程学报;2010年13期

8 孙振;巩岩;;光刻投影物镜V形柔性轴向调节机构设计[J];激光与光电子学进展;2013年10期

9 倪明阳;巩岩;;深紫外投影物镜偏心调整机构的传动比分析(英文)[J];红外与激光工程;2012年12期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 柳华;刘伟奇;冯睿;魏忠伦;张健;;柔性双补偿杆式动镜支撑机构的设计[J];光学精密工程;2011年06期

2 刘海勇;周金运;雷亮;刘丽霞;刘志涛;郭华;;数字光刻缩微投影系统物镜的设计[J];光电工程;2013年07期

3 彭海峰;孙振;;光刻物镜中光学元件精密轴向调整机构的设计与分析[J];光子学报;2014年04期

4 马立;谢炜;刘波;孙立宁;;柔性铰链微定位平台的设计[J];光学精密工程;2014年02期

5 李宗轩;陈雪;张雷;金光;张元;贾学志;孔林;;大口径空间反射镜Cartwheel型柔性支撑设计[J];光学学报;2014年06期

6 龚学鹏;卢启鹏;彭忠琦;;X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试[J];光学精密工程;2014年08期

7 卢倩;黄卫清;王寅;孙梦馨;;深切口椭圆柔性铰链优化设计[J];光学精密工程;2015年01期

8 柳华;刘伟奇;冯睿;魏忠伦;张健;;新型全柔性动镜机构的设计与分析[J];红外与激光工程;2012年01期

9 ;Compliant mechanisms design based on pairs of curves[J];Science China(Technological Sciences);2012年08期

10 王念峰;张宪民;;基于成对曲线组合的柔顺机构设计[J];中国科学:技术科学;2012年08期

中国博士学位论文全文数据库 前7条

1 周擎坤;柔顺直线导向与缓冲机构设计问题研究[D];国防科学技术大学;2011年

2 王才东;深水管道法兰自动连接机具关键技术研究及样机研制[D];哈尔滨工程大学;2011年

3 汪静姝;光栅刻划机系统辨识及温度影响研究[D];中国科学技术大学;2013年

4 张然;电热驱动SU-8微夹钳的相关问题研究[D];大连理工大学;2013年

5 孙炜;新型大行程柔顺并联机构理论与实验研究[D];华南理工大学;2014年

6 沈意平;投影光刻物镜的光机热分析方法研究[D];华中科技大学;2014年

7 朱维斌;基于相位跟踪反馈机理的超精密定位系统研究[D];浙江大学;2014年

中国硕士学位论文全文数据库 前10条

1 李莉莉;大变形的链式算法及其在柔顺机构分析中的应用[D];西安电子科技大学;2012年

2 张守银;柔顺机构的软化和静态平衡设计[D];西安电子科技大学;2012年

3 康利君;基于两种柔顺单元柔顺机构的动力学研究与仿真[D];中北大学;2013年

4 吴志刚;考虑压电驱动迟滞性微操作平台的仿真与控制[D];天津理工大学;2013年

5 刘毅;柔性变胞机构的多稳态性能研究[D];西安电子科技大学;2013年

6 达选祥;柔性变胞机构研究与设计[D];西安电子科技大学;2013年

7 郭冬妮;分子测量机宏微结合机构的原理分析与不确定度估计[D];哈尔滨工业大学;2012年

8 罗挺;微细电火花机床蠕动式主轴装置的研究[D];哈尔滨工业大学;2012年

9 郑邵雍;二维并联压电微动平台的尺寸优化[D];宁波大学;2013年

10 马亚坤;基于拉弯柔性铰链的二级微位移放大机构[D];西安电子科技大学;2014年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 陈知泰,余跃庆,杜兆才;柔顺机构自由度的一种简化计算方法[J];北京工业大学学报;2005年03期

2 王华;张宪民;邓俊广;;基于压电陶瓷驱动的精密定位平台研究[J];测试技术学报;2007年04期

3 黄真;刘婧芳;李艳文;;150年机构自由度的通用公式问题[J];燕山大学学报;2011年01期

4 雷江,蒋世磊,程刚;高精度光刻物镜的变形研究[J];光电工程;2005年02期

5 李文静;周金运;林清华;;折叠式激光投影光刻物镜的设计研究[J];光电工程;2007年09期

6 王洋;张景旭;;大口径望远镜主镜支撑优化分析[J];光电工程;2009年01期

7 齐光;李景林;王书新;任建岳;;长条形SiC空间反射镜轻量化结构优化设计[J];光电工程;2012年02期

8 闫勇;贾继强;金光;;新型轻质大口径空间反射镜支撑设计[J];光学精密工程;2008年08期

9 安源;齐迎春;;空间相机直线调焦机构的设计[J];光学精密工程;2009年03期

10 曾春梅;郭培基;余景池;;0.5m超薄镜主动支撑面形校正及实验[J];光学精密工程;2010年03期

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前1条

1 郭悦民;;动圈仪表给定针调节机构的改进[J];计量技术;1987年02期

中国硕士学位论文全文数据库 前1条

1 靳志辉;新型透射光栅谱仪支撑调节机构总体方案研究[D];重庆大学;2011年

，

本文编号：1202029