硅微静电悬浮加速度计实验研究

发布时间：2017-11-21 10:04

  本文关键词：硅微静电悬浮加速度计实验研究

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【摘要】：硅微静电加速度计将静电悬浮技术与微机械加工工艺相结合,在空间微重力环境下通过降低量程可实现极高的分辨率。设计了一种玻璃—硅—玻璃三明治结构、平行六面体状检测质量、体硅加工工艺、低量程的三轴硅微静电加速度计,分析了加速度计的力平衡回路特性。采用基于DSP的数字控制器,实现了检测质量的六自由度稳定悬浮。在大气环境下测试了静电加速度计的性能。测试结果表明:加速度计x轴的带宽为88.1 Hz,量程为0.220 g n;y轴的带宽为118.2 Hz,量程为0.313 g n;z轴的带宽为10.7 Hz,量程为3.53 g n。
【作者单位】： 清华大学精密仪器系;北京航天控制仪器研究所;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(41074049) 航空科学基金资助项目(20100858005)
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 0引言静电加速度计在空间微重力环境中可充分发挥其高分辨率、低量程的优势,可用于卫星非保守力和空间飞行器振动的测量,也可用于验证广义相对论的等效原理[1]。传统静电加速度计采用精密机械加工手段制造,工艺复杂,体积大,功耗高,造价昂贵,不适宜在微小型航天器上应用。与传

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前1条

1 李树德;空间静电加速度计研究之进展[J];大地测量与地球动力学;2005年02期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前1条

1 段光武;韩丰田;付真斌;;六轴硅微静电加速度计的悬浮回路设计[J];中国惯性技术学报;2010年02期

中国硕士学位论文全文数据库 前5条

1 秦愿;六轴静电悬浮微加速度计的控制系统研究[D];上海交通大学;2011年

2 王强;高精度加速度计空间引力标定方案研究[D];华中科技大学;2006年

3 刘攀龙;石英挠性加速度计的标定与温度补偿研究[D];国防科学技术大学;2008年

4 刘景坡;框体零件内表面的形位误差检测与加工技术研究[D];国防科学技术大学;2009年

5 胡国新;新型倾斜仪机械结构研究及其误差分析[D];中国地震局地震研究所;2012年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前3条

1 宁津生;卫星重力探测技术与地球重力场研究[J];大地测量与地球动力学;2002年01期

2 孙文科;低轨道人造卫星(CHAMP、GRACE、GOCE)与高精度地球重力场——卫星重力大地测量的最新发展及其对地球科学的重大影响[J];大地测量与地球动力学;2002年01期

3 周义炎,吴云,乔学军,张训械;GPS掩星技术和电离层反演[J];大地测量与地球动力学;2005年02期

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 任杰;樊尚春;王路达;;谐振式微机械加速度计设计的关键技术[J];传感技术学报;2008年04期

2 郑旭东;曹学成;郑阳明;罗斯建;王跃林;金仲和;;一种电容式微机械加速度计的设计[J];传感技术学报;2008年02期

3 高志宏;唐一科;周传德;;用零相位的方法检测微加速度计的谐振频率[J];机械制造;2009年09期

4 胡m，

本文编号：1210524