压阻式高量程微加速度计的设计

发布时间：2017-11-22 23:23

  本文关键词：压阻式高量程微加速度计的设计

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【摘要】：为了满足过载环境对高量程加速度计的需求,设计了一种高量程微加速度计。通过对敏感结构建立数学模型及Ansys静力学仿真,确定了该加速度计的总体设计,最后对加工完成的加速度计进行了测试。结果表明,该加速度计的灵敏度为193.3μV/g,在受到10 000 g以上的加速度作用时仍能正常工作,能够满足实际需要。
【作者单位】： 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;洛阳理工学院工程训练中心;
【基金】：国家自然科学基金(51075374)资助
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 0引言微型惯性器件在航天航空、国防工业等领域有着广泛的应用,是目前各国研究的重点之一。高量程加速度计作为一类重要的惯性器件,也受到了研究人员越来越多的重视,它常用于弹药发射及侵彻硬目标等过程中过载信号的测量。目前国内外常用的高量程加速度计主要有压电式和压阻式

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本文编号：1216441