RRAM的氧空位与金属细丝机制SPM的比较

发布时间：2017-11-23 11:26

  本文关键词：RRAM的氧空位与金属细丝机制SPM的比较

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【摘要】：应用扫描探针显微镜(SPM)技术实现了氧化物阻变薄膜局部区域高低阻态的互相转变。通过电激励、编程和擦除等操作,控制细丝的产生和断裂,实现了阻变薄膜局域的重复编程/擦除操作。用该方法分别研究了氧空位机制与金属导电细丝机制的氧化物薄膜的阻变特性,对两种机制做了对比研究。结果表明:在阻变存储器(RRAM)中氧空位机制在导电细丝和数据密度方面要高于金属细丝机制。同时,金属细丝机制阻变薄膜部分区域因编程/擦除操作发生了永久性形貌变化,可能对阻变器件的电极产生永久性破坏,这说明氧空位机制阻变薄膜在未来的高密度存储上具有较好的应用前景。
【作者单位】： 贵州大学电子信息学院;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61361012)
【分类号】：TH742
【正文快照】： 0引言高速、高密度和低功耗的存储技术是推动信息社会快速发展的基础。随着主流的非挥发存储技术(闪存)即将到达尺寸极限而面临无法等比例缩小的问题,基于电阻存储机制的新型存储技术(如相变存储器、阻变存储器和磁存储器)的研究变得越来越重要。其中,阻变存储器(resistive ra

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前2条

1 左青云;刘明;龙世兵;王琴;胡媛;刘琦;张森;王艳;李颖_";;阻变存储器及其集成技术研究进展[J];微电子学;2009年04期

2 李颖_";刘明;龙世兵;刘琦;张森;王艳;左青云;王琴;胡媛;刘肃;;基于I-V特性的阻变存储器的阻变机制研究[J];微纳电子技术;2009年03期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 何品;叶葱;邓腾飞;吴加吉;张骏驰;王浩;;基于ITO电极下氧化铪基阻变存储器的性能研究[J];稀有金属;2016年03期

2 鲍旭恒;吴艳艳;;高密度存储器技术发展与应用浅谈[J];河南科技;2015年21期

3 邢昕;周白杨;陈志坚;李建新;刘俊勇;张维;;TiO_2薄膜元件阻变机理的模拟研究[J];真空;2015年01期

4 毛淑才;廖思燕;郑康成;;含咪唑与TEMPO单元的离子液体的密度泛函方法研究[J];计算机与应用化学;2014年03期

5 李丛飞;傅兴华;李良荣;赵海臣;;RRAM的氧空位与金属细丝机制SPM的比较[J];微纳电子技术;2014年01期

6 高兴森;张飞;林远彬;芦增星;;过渡金属氧化物薄膜阻变存储材料研究[J];华南师范大学学报(自然科学版);2013年06期

7 李建昌;王玉磊;侯雪艳;徐彬;巴德纯;;氧化镍薄膜阻变特性研究进展[J];真空科学与技术学报;2013年12期

8 焦斌;邓宁;陈培毅;;阻变存储器外围电路关键技术研究进展[J];固体电子学研究与进展;2013年04期

9 刘宝营;张群;;直流磁控溅射制备SnO_2薄膜的阻变特性研究[J];真空科学与技术学报;2012年09期

10 曲翔;徐文婷;肖清华;刘斌;闫志瑞;周旗钢;;忆阻器材料的研究进展[J];材料导报;2012年11期

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前1条

1 涂德钰;刘明;商立伟;刘兴华;王丛舜;;基于Rotaxane单分子层的双稳态器件研究[J];微电子学;2008年02期

【相似文献】

中国期刊全文数据库 前10条

1 赵政,丁建宁,许路宁;扫描探针显微镜的研究[J];机械制造;2005年02期

2 郭云昌,蔡颖谦;扫描探针显微镜的进展[J];现代科学仪器;2005年03期

3 韩桂泉;李京伟;苏晔;方新飞;严虎;唐叶平;沈兰;孙萃萃;;扫描探针显微镜[J];化工时刊;2006年12期

4 吴士业;冯治平;刘云波;何彪;;扫描探针显微镜在白酒研究中应用[J];酿酒;2009年03期

5 黄龙飞;丁喜冬;;扫描探针显微镜中数据格式的分析及转换程序的设计[J];电子显微学报;2011年03期

6 邵和玉;;观察微观世界的一种强有力手段——扫描探针显微镜[J];现代科学仪器;1991年03期

7 白春礼,商广义;扫描探针显微镜[J];现代科学仪器;1994年04期

8 姚王非,叶声华,胡小唐;扫描探针显微镜[J];天津大学学报;1996年05期

9 戴长春，黄桂珍，，张新文，施倪承;多功能扫描探针显微镜的设计与实现[J];仪器仪表学报;1996年S1期

10 胡晓明;扫描探针显微镜的基础知识[J];现代物理知识;1997年02期

中国重要会议论文全文数据库 前10条

1 郭生士;;用扫描探针显微镜扫描二维光栅形貌[A];第六届全国信息获取与处理学术会议论文集（2）[C];2008年

2 戴长春;Hou Tee Ng;Yau Sam;;多探头扫描探针显微镜系统[A];全国第七届扫描隧道显微学学术会议（STM'7）论文集（二）[C];2002年

3 孙鑫;费敏锐;;基于神经网络的扫描探针显微镜标定技术研究[A];节能环保 和谐发展——2007中国科协年会论文集（一）[C];2007年

4 韩立;韩冬;王秀凤;陈皓明;;扫描探针显微镜进行细胞扫描时探针对于细胞活性的影响[A];全国第七届扫描隧道显微学学术会议（STM'7）论文集（一）[C];2002年

5 邬晓华;周发升;王文伟;黄文浩;;扫描探针显微镜教学演示软件[A];第五届全国STM学术会议论文集[C];1998年

6 范红玉;杨杞;杨德明;牛金海;倪维元;刘东平;;基于多模式扫描探针显微镜技术研究碳化硅的离子辐照损伤[A];第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会会议摘要集[C];2013年

7 刘辉;黄自元;费敏锐;;基于DSP的扫描探针显微镜中压电陶瓷管非线性校正技术及其实现[A];全国冶金企业计控网络化研讨会论文集[C];2003年

8 陈津平;胡晓东;陈峰;郭彤;胡小唐;;振动与扫描速率综合影响SPM图像的实验研究[A];全国第七届扫描隧道显微学学术会议（STM'7）论文集（二）[C];2002年

9 赵亚军;程茜;钱梦

本文编号：1218313