微机械加速度计的温漂性能研究综述
本文关键词:微机械加速度计的温漂性能研究综述
【摘要】:温度是影响微机械加速度计性能指标、限制其应用领域的关键因素之一。在简要介绍微机械加速度计发展现状及温度对其影响机理的基础上,对近年来在降低微机械加速度计温漂方面国内外研究机构所采取的主要研究方法进行了详细的阐述,为该研究领域的推进提供了参考。
【作者单位】: 西安邮电大学电子工程学院;
【基金】:陕西省教育厅专项科研计划项目(15JK1683)
【分类号】:TH824.4
【正文快照】: 时,微机械加速度计将产生输出误差,其中,微机械引 言加速度计随环境温度变化而产生的测量精度误差(即温漂)是制约加速度计性能提升、限制其应用场高精度、高稳定性的微机械加速度计在国防领域中占据着重要的军事地位,而影响微机械加速度合的关键因素[1]。因此,如何降低微机械
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本文编号:1229116
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