MEMS微摩擦磨损仪器的研究进展

发布时间：2017-11-29 02:25

  本文关键词：MEMS微摩擦磨损仪器的研究进展

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【摘要】：相对于传统机械而言,微机电系统(MEMS)器件的摩擦磨损问题显得更加突出,对MEMS的摩擦磨损进行研究,并提供有效的润滑手段是保证其设备功能和使用寿命的关键。针对开展MEMS微观摩擦磨损研究的需要,概述了常用的微观摩擦磨损测试仪器,包括扫描隧道显微镜(STM)、原子力显微镜(AFM)、摩擦力显微镜(FFM)等探针类实验装置以及球-盘式、销-盘式、针-盘式和微轴承式摩擦副的微摩擦磨损实验装置,着重介绍了它们的工作原理和适用对象。并根据MEMS技术的发展现状,对微观摩擦磨损实验仪器的发展趋势进行了展望。
【作者单位】： 中国矿业大学机电工程学院;
【基金】：江苏省自然科学基金资助项目(BK20131114) 江苏省大学生实践创新训练计划资助项目(201510290020Y) 中国矿业大学大学生创新创业基金立项大学生创新项目(201511)
【分类号】：TH87;TH-39
【正文快照】： 0引言为了满足现代生产和生活的需要,早在20世纪70年代科研人员在进行机械设备小型化、微型化的研究过程中开始微机械的研发,逐渐形成了微电子机械系统(micro electro-mechanical system,MEMS)的概念,它是将微传感器、微型构件、微执行器、接口电路以及驱动和控制电路等通过特，

本文编号：1235878