静压气浮直驱转台热特性

发布时间：2017-12-06 04:23

  本文关键词：静压气浮直驱转台热特性

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【摘要】：以开发满足精密工程应用的静压气浮直驱转台为目标,研究静压气浮直驱转台结构的热稳定性.首先,分析了静压气浮直驱转台的发热-传热特性,建立了三维热特性有限元模型,计算了气浮直驱转台的温度场云图;用间接耦合的分析方法,将温度场作加载条件,进行转台热-结构耦合分析;然后,对比研究了两种直驱电机安置结构对转台热稳定性的影响,提出了静压气浮直驱转台的空气强制对流冷却方案;最后,完成了无框力矩电机后置式静压气浮直驱转台的温度场检测实验.实验结果表明,静压气浮直驱转台测试点的计算与实测温度的最大误差为1.93℃,稳态温度场分布计算精度较高;温度分布稳态时,气浮转台止推轴承气膜单侧间隙的变化量为0.55μm,在空气轴承气膜设计允许的波动范围内,对轴承性能不产生明显的影响.电机后置式直驱静压气浮转台结构的热稳定性好,适合工业应用.
【作者单位】： 北方工业大学机电工程学院;
【基金】：北京市人才强教计划资助项目(PHR201108053) 北京市教委科技计划资助项目(KM200910009005)
【分类号】：TH703;TH133.36
【正文快照】： 静压气浮直驱转台系统中集成了静压空气轴承技术和直驱技术,可实现微摩擦、无磨损和“零传动”,具有高精度、高速度、高加速度的运动性能,可适应超精密、无污染等极限工作环境,广泛用于先进电子制造业、生物及医学设备、微机电系统制造、激光检测、航空和国防等精密工程领域.

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本文编号：1257362