基于紫外厚胶的探针加工工艺

发布时间：2017-12-06 07:07

  本文关键词：基于紫外厚胶的探针加工工艺

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【摘要】：研究了一种基于紫外厚胶SU-8的亚毫米探针的加工工艺,通过溶液间的界面张力形成微球,再由深紫外光刻形成微柱。这种新技术利用紫外LIGA技术替代较为复杂昂贵的深反应离子刻蚀(DRIE)技术,使用甘油补偿紫外胶与空气之间的折射率差,使紫外光透过微球后依然可以曝光厚达几百微米SU-8胶形成微柱,并且提出原位放大接触点的对准方法,实现了微球与微柱的同轴。最终实现高深宽比的探针结构,可以作为关键部件应用于三坐标测量机。由于此工艺与传感器工艺相容,探针可以直接制作在集成了传感器的测头基底上,大幅减少了装配误差。
【作者单位】： 中北大学电子测试技术重点实验室;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(61401405,51475438) 山西省基础研究资助项目(2014011021-4) 新世纪优秀人才支持计划资助项目(130951862)
【分类号】：TH721;TP212
【正文快照】： 0引言随着精密机械、生物工程、化工领域和光电系统等方面日益向微小化、精密化方向发展,以微米加工、纳米结构和系统为目的的MEMS技术不断发展,利用精密加工手段加工出的微纳米结构,使得产品的导向趋于微小化。新型微纳结构不断涌现,各种零部件的设计、加工和装配的精度也越

【共引文献】

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本文编号：1257740