改进型的滚转角测量干涉仪

发布时间：2017-12-07 04:07

  本文关键词：改进型的滚转角测量干涉仪

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【摘要】：所有的机械导轨运动副都具有三个回转自由度或称作为角运动误差,包括俯仰角、偏摆角和滚转角误差,其中滚转角由于其产生的特别原因,而最难测量。针对现有的以对称的双楔角棱镜和对称的双楔面反射镜组成的滚转角测量干涉仪,提出了利用单楔角和单楔面反射镜的高精密滚转角测量干涉仪系统。由于系统所需光学元件较少,在实现相同测量分辨率的情况下,更有利于光学元件的加工和安装调试。系统中不同频率的两束光的传播路径相互平行,因此能够有效地减小死程误差和排除其他自由度的干扰,系统稳定性更好。使用普通的2π/512细分相位计,滚转角测量分辨率为2μrad。
【作者单位】： 上海理工大学光电信息与计算机工程学院;
【基金】：国家自然科学基金(51075280) 沪江基金(C14002)
【分类号】：TH744.3
【正文快照】： 1引言随着现代工业技术的发展,对超精密位移的精度要求越来越高,例如超精密机床的定位精度已经小于100 nm或者几十纳米,在光刻机的扫描定位工作台中,测量精度要求只有几个纳米,甚至1 nm以下。位移精度要求的不断升级,就意味着必须对位移运动中的各种转角进行严格控制,以保证相

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本文编号：1261067