磁控溅射制备持久性银反射镜研究

发布时间：2017-12-07 05:23

  本文关键词：磁控溅射制备持久性银反射镜研究

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【摘要】：研究了磁控溅射制备Sub/NiCrN_x/Ag/NiCrN_x/SiN_x/Air多层结构银反射镜的特性,分析了N_2对Ag薄膜、介质保护层及银反射镜光谱的影响。采用深度剖析X射线光电子能谱和透射电子显微镜分析了银反射镜短波波段(400~500nm)反射率偏低的原因。采用分光光度计、扫描电子显微镜和X射线衍射仪研究了N_2占比对Ar/N_2混合气体溅射制备单层银膜光学性质、表面形貌及晶向结构的影响,比较了不同Ar/N_2比例混合气体溅射制备银反射镜的反射率,并分析了对应样品SiN_x保护层的化学计量比。实验结果显示,溅射制备银膜时,在Ar中引入一定比例的N_2,SiN_x保护层的化学计量比得到改善。当N_2体积比由0上升至40%时,Ar/N_2混合气体溅射制备的银反射镜在400nm波长处反射率由71.7%提高到79.3%。此外,基于Ar/N_2混合气体溅射溅射制备的银反射镜样品具备优良的环境稳定性。
【作者单位】： 中国科学院光电技术研究所;中国科学院大学;电子科技大学光电信息学院;
【分类号】：TH751
【正文快照】： 2中国科学院大学,北京1000493电子科技大学光电信息学院,四川成都6100541203002-1天文望远镜作为人类观察宇宙的重要工具,其探测能力和空间分辨率主要受主镜口径的限制。随着科学技术的发展,天文望远镜口径越来越大,大口径主镜镀膜已成为关注焦点[1]。一般情况下,主镜膜层需要

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本文编号：1261311