基于显微光杠杆技术的微结构偏转角测量系统

发布时间：2017-12-09 17:35

  本文关键词：基于显微光杠杆技术的微结构偏转角测量系统

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【摘要】：针对微结构的偏转角度测试需求,设计并搭建了一套基于显微光杠杆技术的角度测量系统。该系统将光杠杆光路与无限共轭显微光路相结合,所得聚焦光斑直径小于10μm;采用电流模式电路处理四象限探测器输出信号,系统理论带宽超过5MHz;系统对微结构的转角测量分辨力和理论量程分别可达1.2″和±4°。利用该系统测量了原子力显微镜微悬臂梁探针在步进载荷下的偏转情况,测量结果与铁摩辛柯梁理论计算一致,验证了系统的可靠性。
【作者单位】： 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金(61204117,51075297) 863计划项目(2012AA041204)
【分类号】：TH712
【正文快照】： 0引言微纳测试技术对于微纳米材料的发展、微纳米器件和系统的开发研究具有十分重要的意义,其中微纳米几何量测量技术作为微纳测试技术的基础,显得尤为关键[1]。角度测量是几何量测量的重要组成部分,迄今已积累了大量成熟的技术方案,如发展较早的机械测角法、电磁测角法,以及

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本文编号：1271277