大口径离轴长条形反射镜的检测支撑机构

发布时间：2017-12-11 09:24

  本文关键词：大口径离轴长条形反射镜的检测支撑机构

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【摘要】：针对大口径离轴长条形反射镜光轴水平向检测的需要,设计了一套检测支撑结构。优化了结构参数,实现了由支撑结构引起的镜面面形误差最小化。通过比较长条形反射镜光轴水平向检测支撑的级联多点支撑结构,选择了结构简单、扩展性和调整性优良的两点单层固定支撑结构。利用集成仿真与优化方法,分析计算反射镜镜面面形误差随支撑间隔的变化趋势,确定了最优支撑间隔。最后,利用干涉仪结合补偿器的检测方式,对不同支撑间隔工况下镜面面形进行检测,验证了仿真分析的可靠性。结果表明:在支撑间隔为564mm时,由检测支撑引起的镜面面形误差最小(RMS=8.26nm),干涉检测得到的镜面面形误差随支撑间隔的变化趋势与仿真得到的趋势相符,仿真结果可靠性高。提出的方法可实施性好,可推广到其他大口径离轴长条形反射镜的设计和检测中,为离轴三反(TMA)相机的设计提供技术基础。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;中国科学院大学;
【基金】：国家863高技术研究发展计划资助项目(No.863-2-5-1-13B)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1引言在离轴三反消像散光学系统(Three MirrorAnastigmatism,TMA)中,为了实现大视场成像,主镜、三镜常采用长条形离轴非球面反射镜。作为TMA光学系统中最大和次大的2块反射镜,主镜和三镜的面形精度对光学系统的成像质量影响敏感度高[1-4]。在加工、镀膜等制备过程中,需要对反

【参考文献】

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【共引文献】

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1 陶津平;楚衡s，

本文编号：1277935