高精度平面子孔径拼接算法研究

发布时间：2017-12-12 00:33

  本文关键词：高精度平面子孔径拼接算法研究

  更多相关文章： 测量 干涉测量 大口径平面镜 子孔径拼接 误差累积

【摘要】：对平面子孔径拼接累积误差的理论分析及数值仿真表明,参考镜面形的拼接重叠区域的局部斜率差和直流偏差是产生累积误差的原因。为了提高大口径平面光学元件子孔径拼接检测精度,提出一种简单有效的可以减小子孔径拼接测量累积误差的方法,该方法采用第4项和第6项泽尼克像差拟合一个假设的准参考镜面形,再从每个子孔径测量结果中减去,最后拼接合成全口径面形。对450mm×60mm的平面镜进行了8个子孔径的拼接检测,去除准参考镜面形前后,拼接测量结果与Zygo公司24英寸(600mm)口径干涉仪检测结果的偏差峰谷(PV)值从λ/7减小至λ/100。所拟合的准参考镜面形误差为0.02λ(PV值),与标准镜的面形误差为同一量级,其对每个子孔径测量结果的影响可以忽略。实验结果表明,本文方法能够有效控制拼接累积误差,提高拼接检测精度。
【作者单位】： 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室;中国科学院大学;
【基金】：国家自然科学基金(60938003,61205102,61275207) 中国科学院青年创新促进会
【分类号】：TH74
【正文快照】： 1104002-1随着现代光学的发展,大口径平面光学元件在极大规模集成电路制造、天文望远镜、惯性约束聚变和同步辐射等系统中的应用越来越广泛,也对大口径光学元件的面形检测精度提出了很高的要求。子孔径拼接方法易拓展测量口径、测量空间分辨率高、系统成本低,能够实现大口径光

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本文编号：1280526