静电悬浮加速度计轴间耦合误差角的在线测量

发布时间：2017-12-14 13:33

  本文关键词：静电悬浮加速度计轴间耦合误差角的在线测量

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【摘要】：静电悬浮加速度计轴间耦合误差角与悬浮质量块的平行度误差有关,而常规方法很难测量其大小和方向,故本文提出了一种变预载轴间耦合误差角在线测量方法。通过分析悬浮质量块平行度误差、耦合误差角、姿态角与静电力耦合的关系,推导了变预载法进行在线耦合误差角精确测量的原理和公式。设计了静电悬浮加速度计原理样机,并利用该样机对提出的测量方法进行了实验验证。实验测得X向对Y/Z向耦合误差角分别为-5.10×10-4 rad和2.36×10-5rad,与理论分析相符。该方法同样适用于Y向对X/Z及Z向对X/Y的耦合误差角的在线测量。上述结果表明该方法可以有效、精确地完成静电悬浮加速度计不同轴之间耦合误差角的在线测量。
【作者单位】： 清华大学精密仪器系高精度导航技术教育部重点实验室;
【基金】：国家自然科学基金资助项目(No.61374207)
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 1引言精确地测定地球重力场或重力梯度,对地震预报、地质资源勘探、导弹的精确定轨、全球气候变化以及海洋环境监测等领域具有重要经济意义和战略意义[1]。其核心是高精度的静电悬浮加速度计,其原理与微机电系统(MEMS)差动电容式加速度计工作原理相同,是通过检测悬浮质量块的

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