全自动薄膜应力仪

发布时间：2017-12-14 23:23

  本文关键词：全自动薄膜应力仪

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【摘要】：基于基片弯曲法原理,利用光杠杆放大曲率的方法,本工作研制了一套高精度全自动薄膜应力测试仪。在前期工作的基础上,该仪器实现了样品中心自动定位,样品表面曲率半径高精度测试,以及薄膜残余应力值自动计算等功能。标准光学玻璃圆台表面曲率半径的实测结果表明,应力仪测试精度达到千分位。此外,TiN薄膜应力沿层深分布的测试结果进一步验证了设备的可靠性。
【作者单位】： 深圳职业技术学院深圳现代设计与制造技术重点实验室;深圳市速普仪器有限公司;
【基金】：国家自然科学基金项目(No.51401128) 深圳市科技计划项目(No.JCYJ20140508155916426)
【分类号】：TH823
【正文快照】： 近年来,薄膜技术与薄膜材料迅猛发展,被广泛应用到微电子、传感器、太阳能、光学、信息、防护等各个领域。大量的研究表明,薄膜的残余应力、膜基结合力和屈服强度是导致薄膜系统失效的三大主要因素。薄膜的残余应力会显著影响薄膜的膜基结合力、屈服强度、摩擦磨损以及腐蚀等，

本文编号：1289741