一种去除拼接干涉图中累积误差的简单方法

发布时间：2017-12-16 09:21

  本文关键词：一种去除拼接干涉图中累积误差的简单方法

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【摘要】：用子孔径拼接干涉法来检测大口径光学元件和光学系统是一种成本较低的有效手段。但是随着子孔径数目的增加,拼接得到的面形图中存在着很大的累积误差严重影响了拼接的精度,因此如何简单快速地去除累积误差成为子孔径拼接干涉检测法研究的主要问题之一。文中介绍了一种简单且快速的方法去除拼接中的累积误差。并且对一个大小为180 mm×80 mm的平面镜进行了6个子孔径拼接检测实验。在实验中,文中提出的方法很好的去除了拼接中的累积误差。
【作者单位】： 北京空间机电研究所;
【分类号】：TH74
【正文快照】： 0引言随着现代光学应用技术的飞速发展,对光学系统性能的要求也日益提高,光学元件朝着大型化,高精度的方向发展,但是大口径平面镜、大口径的凸非球面镜、小F数的大口径凸球面镜面形以及大口径光学系统的波像差检测均存在检测难题。子孔径拼接法可以利用小口径干涉仪通过拼接

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本文编号：1295503