二次离子质谱仪中二次中性粒子空间分布研究

发布时间：2017-12-18 09:29

  本文关键词：二次离子质谱仪中二次中性粒子空间分布研究

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【摘要】：为提高二次离子质谱仪(secondary ion mass spectrometer,SIMS)的灵敏度,引入了飞秒激光电离一次离子轰击溅射产生的二次中性粒子。实验以纯银、纯铜为目标样品,利用自主研制的飞行时间质谱仪分析二次后电离的离子,研究二次中性粒子的后电离效率和空间分布。结果表明:飞秒激光电离技术可将仪器的灵敏度提高70倍以上;飞秒激光电离出的107 Ag+和109 Ag+的同位素丰度比值误差为0.8%;二次中性粒子的空间分布符合Maxwell-Boltzmann模型。该结果可为在设计方法上提高SIMS仪器灵敏度提供依据。
【作者单位】： 吉林大学仪器科学与电气工程学院;中国地质科学院地质研究所北京离子探针中心;大连民族大学;
【基金】：国家重大科学仪器设备开发专项《同位素地质学专用TOF-SIMS科学仪器》之任务二(2011YQ05006902)资助
【分类号】：TH843
【正文快照】： 二次离子质谱仪(secondary ion massspectrometer,SIMS)作为一种高效的表面分析仪器,可获取样品表面数微米范围内精确的同位素和化学组成信息,是一种无需对样品进行化学处理和近乎无损伤的分析技术,适用于地质样品的分析[1-2]。SIMS采用高速离子束轰击样品表面,其离子能量一般

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本文编号：1303663