基于子孔径拼接法测量高精度反射镜

发布时间：2017-12-18 14:15

  本文关键词：基于子孔径拼接法测量高精度反射镜

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【摘要】：为了解决高精度光学反射镜的子孔径拼接检测问题,基于最小二乘拟合,依据拼接算法建立数学模型,编制了拼接程序,同时对口径为Φ120mm的平面反射镜进行了拼接检测。检测中,基于标记点确定子孔径间的相对位置,完成子孔径间的对准。分别基于全口径检测结果与自检验子孔径测试结果对拼接结果进行精度分析。实验结果表明:拼接结果无"拼痕",拼接结果与全口径测试结果、自检验子孔径测试结果一致;拼接结果与全口径面形测试的PV值与RMS值的偏差分别为0.020λ与0.002λ,验证了检测的可靠性和准确性。
【作者单位】： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室;
【基金】：863基金资助项目(O8663NJ090) 973基金资助项目(2011CB0132005) 国家自然科学基金重点项目(61036015)
【分类号】：TH74
【正文快照】： 引言大口径光学平面镜的检测,在传统光学检测中,通常需要配备大口径干涉仪或者搭建Ritchey-common形式的检验光路[1-2],这时往往需要一块与被检元件尺寸相同甚至更大尺寸的参考光学平面或球面,然而制造和检测大口径参考平面镜和球面镜存在很多的困难,并且所需的时间很长,费用

【参考文献】

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10 郑婉U，

本文编号：1304468