振动环境下MEMS加速度计的可靠性评估

发布时间：2017-12-18 20:16

  本文关键词：振动环境下MEMS加速度计的可靠性评估

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【摘要】：在MEMS加速度计加速寿命试验及加速性能退化试验研究的基础上,对MEMS加速度计在振动环境下的可靠性技术进行了研究。通过理论分析MEMS加速度计在振动环境下的失效模式和失效机理,结合具体的试验条件设计了加速度计加速寿命试验及加速性能退化试验方案,并对MEMS加速度计在振动环境下的失效数据分别进行了加速寿命可靠性评估及加速性能退化可靠性评估。研究表明,两种评估方法得到的评估结果基本一致;加速性能退化评估方法适用于MEMS加速度计在振动环境中的可靠性研究,且该方法简捷、正确可行、节省试验费用,为MEMS加速度计在实际应用中提供了重要的参考依据。
【作者单位】： 中北大学电子测试技术重点实验室;中北大学信息与通信工程学院;
【基金】：山西省自然科学基金项目(2014011021-5)
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 微电子机械系统(MEMS)在近十几年来取得了飞速的发展,微加速度计是MEMS的一个重要分支,在航空、航天、汽车、国防等领域有着广泛的应用。随着高新技术的发展,现代武器装备的使用环境越来越严酷,对质量和可靠性的要求也越来越高,MEMS加速度计的可靠性保障越来越困难。MEMS加速，

本文编号：1305475