工艺误差对电容式微加速度计温度漂移的影响（英文）

发布时间：2017-12-20 19:16

  本文关键词：工艺误差对电容式微加速度计温度漂移的影响（英文）　出处：《强激光与粒子束》2016年06期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：利用有限元方法,仿真分析了深反应离子刻蚀工艺造成的折叠梁宽度误差对电容式微加速度计温度漂移的影响。在存在工艺误差和保证微加速度计灵敏度恒定的前提下,增大了折叠梁设计宽度,计算了不同宽度下微加速度计的温度漂移量。结果表明:刻蚀工艺误差越大,微加速度计温度漂移量越大。折叠梁设计宽度为4.5μm和6.5μm时,最大温度漂移量分别为2.42mg/℃和1.71mg/℃,因此通过适当地增大设计尺寸,可以有效地减小微加速度计的温度漂移量。
【作者单位】： 电子科技大学机械电子工程学院;电子科技大学机器人研究中心;中国工程物理研究院电子工程研究所;
【基金】：supported by NSAF(U1530132) National Natural Science Foundation of China(51505068,51575090) Fundamental Research Funds for the central universities(ZYGX2013J097)
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： Microelectromechanical　system(MEMS)technology　integrates　mechanical　elements,sensors,actuatorsand　electronics　onto　a　common　substrate　by　applying　so　called　microfabrication[1-3].With　the　development　ofmicrofabrication　technology,MEMS　d

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1 刘晓e，

本文编号：1313105