微加速度计在高冲击下的断裂失效分析

发布时间：2017-12-20 22:16

  本文关键词：微加速度计在高冲击下的断裂失效分析　出处：《仪表技术与传感器》2014年02期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：针对微加速度计在冲击环境下的断裂失效问题,利用静态分析方法分析硅微加速度计在冲击环境下的受力情况,得出微加速度计能承受的最大冲击加速度为2.69×105g.对硅微加速度计进行动态加速度冲击仿真和3个方向的正弦应力冲击仿真,通过仿真得出在3 ms内施加2.5×105g的冲击加速度时会使得微加速度计断裂失效,在正弦冲击下微加速度计在工作方向上能够承受的最大冲击力为4.1 kN;x、z轴方向正弦变化的力会使微加速度计质量块端处的梁根部易受剪切应力影响,使得该处发生断裂。该仿真结果对微加速度计冲击环境下的可靠性强化试验设计和失效分析提供理论依据。
【作者单位】： 仪器科学与动态测试教育部重点实验室 中北大学;电子测试技术国家重点实验室 中北大学;洛阳理工学院工程训练中心;
【基金】：国家自然科学基金(50730009;51075374)
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 0引言近年来,MEMS技术不断发展,因其具有可大批量生产、成本低、功耗小和集成化等特点,其应用越来越多。其中,硅微加速度计广泛应用于工业、航天和国防技术等领域,如飞机、船舶用的稳定和控制系统、机器状态检测系统等。而在制造、测试以及运输过程中,硅微加速度计极易受到冲

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本文编号：1313603