硅微谐振加速度计高精度相位闭环控制系统设计与实现

发布时间：2017-12-20 23:37

  本文关键词：硅微谐振加速度计高精度相位闭环控制系统设计与实现　出处：《中国惯性技术学报》2014年05期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：硅微谐振加速度计因具有小体积优势和高精度潜力,成为硅微惯性传感器研制的热点之一。高精度相位闭环控制系统是决定硅微谐振加速度计精度水平的重要因素。在分析硅微谐振加速度计工作机理的基础上,从闭环控制系统设计的角度,分析了相位闭环控制回路的原理,提出了一种可以消除匀加速误差的高精度三阶无静差相位闭环控制方案。给出了设计思路,研究了环路性能测试方法,讨论了闭环系统相位误差的来源与抑制方法。所设计的闭环回路在0.1 Hz处静态增益为170 dB,启动时间小于20 ms,实测带宽为432 Hz,全温范围内相位闭环回路相差变化0.84°,系统参数满足设计指标。
【作者单位】： 北京航天控制仪器研究所;
【基金】：国防基础科研项目支持(A0320110013)
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 硅微谐振加速度计是一种新型加速度计,与传统电容式加速度计位移敏感原理不同,其利用力敏感原理,通过谐振结构输出与外界输入加速度成比例的频率信号,无需A/D转换电路即可与数字电路接口,大大简化了处理电路,在保持MEMS仪表小体积、低功耗等特点的同时,为进一步提高MEMS惯性仪

【参考文献】

中国期刊全文数据库 前3条

1 王巍;王岩;庄海涵;邢朝洋;;硅微谐振加速度计交流检测信号解耦技术[J];中国惯性技术学报;2012年04期

2 王巍;王岩;庄海涵;邢朝洋;;谐振式硅微加速度计闭环控制系统的分析与设计[J];中国惯性技术学报;2012年06期

3 王巍;王岩;庄海涵;邢朝洋;;硅微谐振加速度计的温度特性[J];中国惯性技术学报;2013年02期

【共引文献】

中国期刊全文数据库 前5条

1 王帆;董景新;赵淑明;;硅微振梁式加速度计的温度检测及闭环控制[J];光学精密工程;2014年06期

2 王巍;王岩;庄海涵;邢朝洋;;谐振式硅微加速度计闭环控制系统的分析与设计[J];中国惯性技术学报;2012年06期

3 王巍;王岩;庄海涵;邢朝洋;;硅微谐振加速度计的温度特性[J];中国惯性技术学报;2013年02期

4 王帆;董景新;赵淑明;严斌;;硅微振梁式加速度计抗温漂的微结构及工艺设计[J];中国惯性技术学报;2014年02期

5 苗新法;王秀华;张明柱;吴荣斌;;闭环加速度计的控制数字化分析[J];中国惯性技术学报;2014年02期

中国博士学位论文全文数据库 前1条

1 张祖伟;基于声光效应的MEMS加速度传感器基础理论与关键技术研究[D];重庆大学;2013年

【二级参考文献】

中国期刊全文数据库 前7条

1 任杰;樊尚春;;硅基谐振式微机械加速度计的设计与仿真计算[J];传感技术学报;2007年09期

2 陈卫卫;黄丽斌;杨波;;不等基频硅微谐振式加速度计[J];传感技术学报;2011年11期

3 石然;裘安萍;苏岩;;硅微谐振式加速度计的实现及性能测试[J];光学精密工程;2010年12期

4 裘安萍;董金虎;;硅微谐振式加速度计的温度效应及补偿[J];纳米技术与精密工程;2012年03期

5 胡m，

本文编号：1313855