差分式MEMS面内加速度计设计

发布时间：2017-12-22 08:35

  本文关键词：差分式MEMS面内加速度计设计　出处：《传感技术学报》2014年07期 　论文类型：期刊论文

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【摘要】：设计了一种新型差分式大量程MEMS加速度计,实现了面内大过载信号的测试。首先利用MATLAB软件结合理论原理,设计了具体的结构参数,利用ANSYS有限元分析软件验证了结构设计的合理性。将本差分式MEMS面内加速度计结构用于集成三轴传感器,3个敏感质量块可以分别感应3个方向的加速度而不会相互影响,可以有效解决传感器体积大以及轴间交叉干扰的难题。
【作者单位】： 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室;中北大学电子测试技术国防科技重点实验室;中北大学仪器与电子学院;
【基金】：国家“十二五”装备预研项目
【分类号】：TH824.4
【正文快照】： 军事上各种弹丸侵彻硬目标以及大当量冲击波场爆炸威力过程中的三维动态加速度的参数评估测试越来越受到全世界范围内的重视,它对于战略武器的发展具有举足轻重的作用[1-3]。目前,测试三维加速主要有两种方法:第一,利用3个单独的单轴加速度传感器集成一个测试系统,这种方法虽

【参考文献】

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本文编号：1319133